Сканирующая акустическая томография (SAT) является ценным инструментом в полупроводниковой промышленности для неразрушающего контроля и оценки полупроводниковых материалов и устройств. Эта технология использует звуковые волны для создания изображений с высоким разрешением внутренних структур, дефектов и свойств материалов, предоставляя важную информацию для контроля качества, оптимизации процесса и анализа отказов.
Сканирующая акустическая томография (SAT)Работает, передавая ультразвуковые импульсы в тестируемый материал и измеряя время, необходимое для возврата эхо-сигналов. Эти данные затем используются для построения трехмерного изображения внутренней структуры, что позволяет аналитикам визуализировать и оценивать качество материала.
Перед выполнением SAT важно правильно подготовить образец полупроводника. Это включает в себя очистку поверхности для удаления любых загрязнений, которые могут мешать звуковым волнам, и обеспечение правильного расположения образца для сканирования.
Во время сканирования образец помещается на сцену, которая может перемещаться в нескольких направлениях, позволяя ультразвуковому преобразователю сканировать всю поверхность. Преобразователь излучает ультразвуковые волны, которые проникают в материал и отражаются обратно внутренними структурами и дефектами. Затем отраженные волны обнаруживаются преобразователем и используются для создания изображения внутренней структуры.
После завершения сканирования данные обрабатываются с помощью специализированного программного обеспечения для восстановления подробного изображения внутренней структуры. Это изображение может выявить дефекты, такие как пустоты, трещины и дефекты расслоения, а также предоставить информацию о свойствах материала, таких как плотность и эластичность.
Последним шагом в использовании SAT в полупроводниковой промышленности является анализ и интерпретация полученных изображений. Это может включать выявление и количественную оценку дефектов, оценку свойств материала и сопоставление результатов с другими результатами испытаний, чтобы получить полное представление о качестве и характеристиках образца.
В заключение, сканирующая акустическая томография является мощным инструментом для неразрушающего контроля в полупроводниковой промышленности, предоставляя ценную информацию о внутренней структуре и свойствах полупроводниковых материалов и устройств. Следуя надлежащим процедурам подготовки образцов, сканирования и анализа изображений, SAT может помочь производителям полупроводников улучшить качество продукции, оптимизировать производственные процессы и снизить риск дефектов и сбоев.
EN
ko 
fr 
de 
es 
it 
ru 
pt 
ar 
hi 
jw 
zh-CN
