Применение прецизионных кварцевых компонентов в полупроводниках

В полупроводниковой промышленности широко используется кварц. А изделия из кварца высокой чистоты являются важными расходными материалами при производстве пластин. Основное применение кварцевых компонентов в области полупроводников-это процесс диффузии и травления в пластинчатом литейном производстве, который можно разделить на высокотемпературные зональные устройства и низкотемпературные зональные устройства. Основные устройства, которые будут использоваться, следующие:

① Устройства в высокотемпературной зоне-это в основном печные трубки, стеклянные лодки и т. Д., Используемые в диффузионном окислении и других процессах. Они должны быть прямым или косвенным контактом с кремниевыми пластинами в высокотемпературной среде. После покупки материалов из плавленого кварцевого стекла эти устройства будут производиться путем термической обработки.

При контроле внутреннего остаточного напряжения трубки из плавленого кремнезема на рисунке ниже рекомендуется использовать ручное количественноеСтеклянный полярископ(Модель НЕТ PSV-413). Вы можете интуитивно и четко видеть, где сосредоточено напряжение, и измерять значение оптического замедления, вызванное наличием напряжения. На рисунке 1 напряжение сосредоточено в синем положении. Когда мы переключаемся на количественный метод измерения (метод сенармона), синяя область на рисунке 1 превращает белую область на рисунке 2. Когда мы медленно поворачиваем шкалу на верхнем анализаторе, цвет белой области на рисунке 2 будет постепенно темнеть, пока не превратится в темно-коричневую область на рисунке 3.

Диаграмма 1

Диаграмма 2

Диаграмма 3

② Устройства в низкотемпературной зоне в основном представляют собой кварцевые кольца в процессе травления, а также цветочные корзины и резервуары для очистки в процессе очистки. После покупки газо-рафинированного кварцевого стекла, эти устройства производятся путем холодной обработки. Бак для очистки кварца на рисунке ниже сделан вручную. При управлении его внутренним остаточным напряжением рекомендуется использовать увеличенный портативный полярископ (модель NO PSV-202-DL).